沈阳芯源微电子设备有限公司，由中科院沈阳自动化研究所于2002年发起创立，是国家高新技术企业，拥有省级企业技术中心，现有专利240余项，年销售额1.6亿元人民币。
公司总部位于沈阳浑南新区，占地2万平，有一流的研发办公环境和高等级净化厂房，在江苏、广东、台湾等多地设有办事处及分公司。
服务领域：
沈阳芯源公司致力于研发制造世界一流集成电路生产设备并提供相关服务，为客户提供专业、精良的设备和创新性的工艺解决方案。
沈阳芯源公司自主开发的匀胶显影机、喷胶机、清洗机、湿法刻蚀机、去胶机等产品广泛应用于前道芯片制造、后道先进封装、微机电系统、LED照明等领域。

发展状况：
芯源公司自2002年12月成立以来，在引进国外先进技术、消化吸收的基础上勇于开拓创新、突破成长，目前已步入高速发展期，销售额自2010年连续5年以40％的速度增长。
主导产品匀胶显影设备在本技术领域居国内领先，可替代进口，已批量销售、应用，成为国内半导体生产线上的主力设备，并销售到海外，成为Iphone5s/6手机核心部件的关键生产设备。典型客户包括中芯国际、江阴长电、中电集团、台湾精材等企业。
芯源公司先后承担“十一五”“十二五”国家02科技重大专项，项目成果突出，产业化成效显着。

企业文化与愿景：
沈阳芯源将秉承“客户第一，奋斗为本，诚信合作，专业精品”的核心价值观，以“为客户创造价值”为使命，将公司培育成具有持续创新能力的受社会尊重的世界级企业。

人才团队：
沈阳芯源通过十多年的努力培养和国家重大专项的实施锻炼，已经建立了一支学科门类齐全、专业技能扎实的机械设计、软件、工艺集成的优秀人才队伍，其中博士和硕士将近30%；团队中拥有国家千人计划专家、辽宁省优秀专家、日本、台湾业界知名专家、顾问。