沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。
芯源公司座落在沈阳市浑南区，公司占地2万平米，设置了专业的集成电路工艺开发和检测实验室以及半导体设备生产组装车间，通过多年技术积累、创新提高，形成自主知识产权体系，已申请300余项专利，在细分市场领域的技术水平和市占率国内领先，业务覆盖前道芯片制造、高端封装、LED、化合物半导体等领域，产品远销海外。

芯源是国家科技重大专项“02专项”承担企业，肩负国家核心技术突破的重要使命；
芯源产品已成功进入国际一线大厂，获得市场高度认可；
芯源研发实力雄厚，研发投入及产出处于行业较高水平；
未来，沈阳芯源公司将不断加大创新力度，以更优质的产品助力“中国芯”跨越式发展！

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